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荷兰ASML来华参展!曾称光刻机可直接出口中国,无需美国许可

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荷兰ASML来华参展!曾称光刻机可直接出口中国,无需美国许可

11月4日,第三届中国国际进口博览会(进博会)正式开幕,来自超过100个国家和地区的将近2600家企业参展,其中不乏全球知名的企业,如通用、微软、丰田等,但最引人注目的,还是荷兰光刻机生产商阿斯麦(ASML)的亮相。

荷兰ASML来华参展!曾称光刻机可直接出口中国,无需美国许可无需美国许可!ASML:DUV光刻机对华出口不受限

据凤凰科技消息,此次参展的阿斯麦不仅带来了其整体光刻解决方案,包括先进控制能力的光刻机台计算光刻和测量通过建模、仿真、分析等技术,让边缘定位精度不断提高,还在展台上展示了可生产7nm及以上制程芯片的DUV光刻机。

但遗憾的是,由于美国的相关规定,阿斯麦目前仍不能向中国出口EUV光刻机,因此此次的展品中也不包括该公司新的EUV光刻机。

据悉,EUV光刻机采用13.5nm波长的光源,是突破10nm芯片制程节点必不可少的工具。早在2018年初,中芯国际便向阿斯麦订购了一台价值1.2亿美元(约合人民币7.9亿元)的EUV光刻机,按照计划,2019年年底便需交付,2020年便可完成安装,然而因种种因素影响,这台EUV光刻机至今依旧是“未出库”状态。

荷兰ASML来华参展!曾称光刻机可直接出口中国,无需美国许可

虽然没有EUV,但据澎拜新闻11月6日报道,在进博会现场,阿斯麦全球副总裁、中国区总裁沈波表示,该公司将在法律法规的框架下,对全球客户一视同仁,对向中国出口集成电路光刻机持开放态度。

据悉,ASML CFO Roger Dassen在财报会议的视频采访中谈到了与中芯国际等中国客户的业务情况,并表示一些情况下,对华出口光刻机是不需要许可证的。基于此,沈波透露,2020年二、三季度,阿斯麦发往中国的光刻机台数已超过了全球总台数的20%。

除此之外,阿斯麦还在中国也建立了自己的培训中心,培养光刻行业人才,在深圳和北京成了两家技术开发中心,做计算光刻、量测等开发,向中国表明了“进军”的诚意。

荷兰ASML来华参展!曾称光刻机可直接出口中国,无需美国许可“国家队”跑步进场!国产光刻机正崛起

都知道光刻机是制造芯片的关键核心设备,如果没有光刻机,即便是芯片巨头台积电、三星、英特尔,也无法实现5nm产线的投产,但目前全球范围内,EUV光刻机被牢牢地掌握在阿斯麦手中,虽然阿斯麦来华参展带来了有关DUV光刻机的好消息,但在EUV光刻机上,我国仍需努力突破。

实际上,早在2008年,我国便已开始攻关国产光刻机,为此还成立了“极大规模集成电路制造装备与成套工艺专项”(简称02专项)。经过多年研发,02专项也取得了可喜的成就。

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比如2018年,中科院研制的“超分辨光刻装备”通过验收。光刻分辨力达到22nm,结合双重曝光技术后,未来还可用于制造10nm级别的芯片;2019年,清华大学和北京华卓精科负责双工件台系统完成研发和试产基地建设,使得中国成为世界第二个掌握该项技术的国家(第一个是荷兰)。

除了02专项,今年9月16日,中科院还表示,将对光刻机及一些关键的核心技术、关键原材料等进行布局,集中全院力量来攻克这些目前最受关注的重点技术。可以说,国产光刻机已在努力追赶中。

文 | 李银苏 题 | 凌明 图 | 饶建宁 审 | 刘苏林

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      2020/11/9 10:52:49

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