主流集成电路核心设备中国研制

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http://www.sina.com.cn 2006年09月29日09:42 北京日报


本报讯(记者徐飞鹏)昨天下午,我国最大的集成电路代工厂--中芯国际公司与北方微电子公司、中科信公司分别签订了刻蚀机和离子注入机的批量采购合同。这是我国国产主流集成电路核心设备产品第一次实现销售,标志着本市承担的国家"十五"863计划集成电路制造装备重大专项--100纳米高密度等离子刻蚀机与大角度离子注入机初步实现了产业化,在集成电路制造核心装备研发方面的技术创新、自主创新取得了重大突破。市委书记刘淇,科技部部长徐冠华,市委副书记、市长王岐山会见了研发单位和验收专家组代表。









本市于2002年启动100纳米高密度等离子刻蚀机与大角度离子注入机项目。北京电子控股公司联合清华大学、北京大学、中科院、七星集团等股东组建北方微电子公司,承担等离子刻蚀机的研发任务;中国电子科技集团联合48所、45所组建北京中科信电子装备公司,承担离子注入机的研发任务。这两种设备的研制成功,使我国高端集成电路核心设备技术水平跨越了5代,有助于扭转我国集成电路制造装备受制于人的局面,对进一步提升我国集成电路制造装备的自主创新能力和核心竞争力具有重要的战略意义。此外,12英寸的刻蚀机和离子注入机也已基本具备了上线测试的条件,预计年底可进入中芯国际北京厂12英寸生产线。


刘淇在会见研发单位和验收专家组代表时说,我们按照建设创新型国家战略要求,以企业为主体,以市场为导向,坚持自主创新和科技创新,在国产集成电路制造核心装备技术上取得了重大突破,这将为IT产业更好地发展奠定良好的基础。北京将在科技部的指导和支持下,进一步与有关部门密切配合,发挥资源优势,在推进大规模集成电路技术攻关,实施建设创新型国家战略上做出新的贡献。


科技部副部长马颂德讲话。副市长陆昊主持签约仪式。RB146



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